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      RegionGlobal Website
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      精密洗凈技術
      精密洗凈技術
      為應對不斷提升的半導體制程要求,依托美國、日本等技術支持,成功完成陶瓷溶射工藝的研發并量產,擁有國際先進的洗凈生產線,努力搶占半導體、TFT產業技術制高點。
      技術發展路線 技術設備能力 生產工藝 實用新型國家專利

      技術背景

      (1)Ferrotec從事精密洗凈18年,積累了大量成熟的洗凈BKM,并在持續改進;

      (2)與世界知名半導體設備商合作,共同開發領先的洗凈技術;

      (3)將于2019第一季度籌建精密洗凈研發中心,增強失效分析和先進制程研發能力;

      洗凈環境

      (1)Cu/Non-Cu通過不同生產線完全隔離,降低交叉污染;

      (2)不同制程的清洗隔離,專用陶瓷石英清洗線,降低污染;

      (3)無塵室采用垂直流方式,無塵環境更容易控制;

      (4)無塵室內采用干濕分離,降低交叉污染的風險;

      設施

      上海工廠

      大連工廠

      銅陵工廠

      空壓機

      有油空壓機

      有油空壓機

      無油空壓機

      CDA/N2

      CDA

      N2(99.999%)

      N2(99.999%)

      純水

      高純水(>16MΩ)

      超純水(>18MΩ)

      超純水(>18MΩ)

      無塵室

      亂流式循環(1000級/100級)

      亂流式循環(1000級/100級)

      垂直層流式循環

      (100級/10級)

      生產環境

      多種產品混合

      專用生產線、環境可控

      專用生產線、環境可控

      自動化

      引入自動噴砂、高壓水洗等自動化設備

      引入自動噴砂、高壓水洗等自動化設備

      精密的測量設備

      量測項目

      量測設備

      新廠

      表面Particle

      表面顆粒儀

      0.1um

      液體particle

      LPC

      0.1um

      關鍵尺寸

      CMM

      0.001mm

      孔徑

      影像儀

      全自動、0.001um

      微觀形貌

      Keyence

      3000X

      微觀裂紋

      C-SAM

      可斷面掃描


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