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硅熔接和硅精制品系列
Si Fusion and Si Parts Products
精密硅部件

Ferrotec系列：硅熔接產(chǎn)品與硅制精密產(chǎn)品

Ferrotec（中國(guó)）硅熔接和硅精制品致力于為半導(dǎo)體硅片處理工藝中提供理想的硅片承載工具，減少硅片金屬污染，錯(cuò)位等缺陷，以及為半導(dǎo)體前沿工藝提供突破性解決方案。主要為硅片高溫處理和LPCVD沉積工藝，提供高純度的多晶硅舟，保溫筒，噴射管等；為半導(dǎo)體蝕刻機(jī)提供硅環(huán)，showerhead等產(chǎn)品。
SiFusion產(chǎn)品
應(yīng)用于各類半導(dǎo)體硅片表面處理工藝設(shè)備中，如氧化、退火、CVD工藝等。由于硅舟和硅片均使用高純硅材料，具有相同的物理性質(zhì)，因此可以避免因?yàn)闊崤蛎浵禂?shù)和熱導(dǎo)系數(shù)不同，造成的晶格錯(cuò)位，提升硅片良率。Ferrotec針對(duì)客戶工藝中的問題，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行獨(dú)特的設(shè)計(jì)，為客戶解決硅片背面劃傷，晶格位錯(cuò)，金屬污染和顆粒問題。
長(zhǎng)齒舟
長(zhǎng)齒舟
熔接多晶硅舟是為擴(kuò)散工藝設(shè)計(jì)的，可替代現(xiàn)有的石英和碳化硅產(chǎn)品，代表的是高純度高性能的技術(shù)。它對(duì)消除顆粒至關(guān)重要。消除這些影響以提高良率，使得硅熔接舟成為新一代集成電路架構(gòu)中重要的載體.
短齒舟
短齒舟
消除這些影響以提高良率，使得硅熔接舟成為新一代集成電路架構(gòu)中重要的載體.
橫型硅舟
橫型硅舟
同時(shí)硅舟配套噴射管、保溫桶及內(nèi)管等輔助配套產(chǎn)品均可生產(chǎn)。
噴射管
噴射管
可與硅舟配套使用
保溫桶
保溫桶
可與硅舟配套使用
擋片
擋片
硅部件產(chǎn)品
Ferrotec（中國(guó)）精密硅制品采用德國(guó)Wacker，美國(guó)REC半導(dǎo)體級(jí)別的Floatzone等材料，生產(chǎn)加工成各種類型的硅部件，為客戶的工廠的產(chǎn)能利用率、生產(chǎn)效率及產(chǎn)量提供更多優(yōu)勢(shì)。
硅聚焦環(huán)
硅聚焦環(huán)
主要規(guī)格有8寸與12寸，可按照客戶要求加工不同尺寸和外觀要求的硅環(huán)產(chǎn)品。應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片干法刻蝕工藝設(shè)備，F(xiàn)erroTec整合了硅材料拉制，產(chǎn)品加工和洗凈，使得產(chǎn)品更具有品質(zhì)，成本，交期和優(yōu)勢(shì)。
硅電極（分流盤）
硅電極（分流盤）
主要規(guī)格有8寸與12寸，可以按照客戶要求進(jìn)行不同氣孔孔徑的加工。應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片干法刻蝕工藝設(shè)備，具有自主單晶硅錠材料拉制能力及材料成本優(yōu)勢(shì),以及擁有自主開發(fā)的洗凈線，可滿足該類產(chǎn)品較高的潔凈度要求。
其他硅機(jī)加工類
其他硅機(jī)加工類
包括圓盤、硅板、籽晶等產(chǎn)品，主要應(yīng)用于其他半導(dǎo)體工藝?？砂凑湛蛻粢?，進(jìn)行高精度尺寸和外形加工。
SI原材料硅錠

SI原材料硅錠

單晶硅錠：大直徑單晶硅棒，電阻率<0.1ohm-cm/1-5ohm，直徑120-145mm。主要用于晶圓襯底片生產(chǎn)及硅質(zhì)半導(dǎo)體是被損耗部件的制造。
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聯(lián)系電話： 0571-88996352
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專利科技
專利科技
減少損傷
減少損傷
延長(zhǎng)使用壽命
延長(zhǎng)使用壽命
延長(zhǎng)清洗周期
延長(zhǎng)清洗周期
Ferrotec精密硅部件優(yōu)點(diǎn)
采用專利科技，使用超高純單/多晶硅材料； 能減少接觸點(diǎn)損傷，防止晶粒錯(cuò)位及降低顆粒； 極大地延長(zhǎng)例行清洗周期； 使用壽命延長(zhǎng)，提升晶片合格率。
Matrix diagram of applications in various fields
各領(lǐng)域的應(yīng)用之矩陣圖
半導(dǎo)體相關(guān)
硅熔接和硅精制品系列

硅舟、噴射管、保溫桶等高溫爐具設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體制程氧化、退火、CVD等工藝設(shè)備

硅環(huán)、硅電極等，應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片干法刻蝕工藝設(shè)備

各種圓盤、硅板、籽晶等產(chǎn)品，主要應(yīng)用于其他半導(dǎo)體工藝

大直徑單晶硅棒，主要用于晶圓襯底片生產(chǎn)及硅質(zhì)半導(dǎo)體設(shè)備損耗部件的制造
該產(chǎn)品的生產(chǎn)基地