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石英坩堝
Thermoelectric semiconductor cooler
石英坩堝

石英坩堝

純度高且耐熱性強的石英坩堝在單晶硅的拉制過(guò)程中是必不可少的部件。石英坩堝的性能對單晶硅的成晶率有較大的影響,Ferrotec(中國)坩堝事業(yè)部一直圍繞著(zhù)如何提高客戶(hù)的成晶率不斷的進(jìn)行技術(shù)革新,也取得了很大的突破。為了滿(mǎn)足不同客戶(hù)的多樣性生產(chǎn)需求,我司研發(fā)出四大系列石英坩堝,應對客戶(hù)不同的拉晶工藝。石英坩堝尺寸我們目前可覆蓋14英寸到32英寸,并具備按照客戶(hù)要求定制更大尺寸的技術(shù)能力。后工序加工我們歷時(shí)三年開(kāi)發(fā)出一套全自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn),確保石英坩堝品質(zhì)穩定。
石英坩堝系列
AQM-10系列,內壁含有透明層的天然石英坩堝;AQM-20系列,高純天然石英坩堝,在A(yíng)QM-10的基礎之上增加高純天然砂,內表面純度較高;AQM-30系列,合成石英坩堝,內表面純度更高,適用于高級別硅棒的拉制;AQM-40系列,內表面結晶化的天然石英坩堝,適應多次加料工藝,長(cháng)時(shí)間使用。
AQM-10系列
AQM-10系列
適用于:太陽(yáng)能單晶硅的拉制。
AQM-20系列
AQM-20系列
適用于:半導體和太陽(yáng)能單晶硅的拉制,主推型號:AQM-21。
AQM-30系列
AQM-30系列
適用于:半導體單晶硅的拉制,主推型號:AQM-31。
AQM-40系列
AQM-40系列
適用于:太陽(yáng)能和半導體單晶硅的拉制,主推型號:AQM-42。
資料下載
石英坩堝樣冊
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聯(lián)系電話(huà): 057186696188
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透明層中少氣泡
為了達到透明中少氣泡化,Ferrotec在熔融工藝以及設備性能上面不斷探索,目前每個(gè)系列的主打型號均采用了少氣泡化的工藝。
透明層中少氣泡
內表面結晶化
關(guān)于內表面結晶化,Ferrotec研發(fā)出新型涂層工藝,AQM-40系列坩堝即使用此工藝。
內表面結晶化
內表面高度純化
關(guān)于高純度化,Ferrotec采用高純度原材料,各工序嚴控金屬元素污染源。后工序作業(yè)引進(jìn)全自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)以及凈空房,保證生產(chǎn)過(guò)程不受雜質(zhì)污染,嚴格保證石英坩堝的純度。
內表面高度純化
Ferrotec石英坩堝優(yōu)點(diǎn)
透明層中少氣泡和內表面結晶化以及內表面純化,這三個(gè)技術(shù)要點(diǎn)是Ferrotec 生產(chǎn)出高品質(zhì)石英坩堝的秘訣。 透明層中少氣泡可以讓坩堝適應長(cháng)時(shí)間的拉制; 內表面結晶化,是在內表面形成一層致密的結晶層,防止石英結晶體脫落,隔絕石英坩堝與硅液的反應,提升單晶硅的成晶率; 內表面純化,會(huì )讓坩堝內表面不易失透,不影響單晶硅的成晶。
Matrix diagram of applications in various fields
各領(lǐng)域的應用之矩陣圖
該產(chǎn)品的生產(chǎn)基地