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新材料技術(shù)
新材料技術(shù)
Ferrotec(中國)基于新材料技術(shù),專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)精密石英、精密陶瓷、精密硅部件等半導體用新材料。
技術(shù)發(fā)展路線(xiàn) 精密陶瓷 精密硅制品 精密石英

Ferrotec(中國)在精密石英這一領(lǐng)域擁有精密加工中心、激光切割、水切割、LAP/POLISH等各類(lèi)型先進(jìn)生產(chǎn)設備,擁有10000級凈空化學(xué)洗凈及100級純水洗凈室??膳可a(chǎn)12",8"以及8"以下半導體裝置用石英制品,并具備下一代18"石英產(chǎn)品的研發(fā)能力。


Ferrotec石英工廠(chǎng)可以根據客戶(hù)要求選用合適的原材料。主要進(jìn)口材料規格有:邁圖(原GE)石英公司生產(chǎn)的124、144、214、224(弱堿性)、244 (低鋁成分)、賀利氏HSQ330、HSQ300、TSC-3;日本TOSOH OP-1、OP-3;德國QSIL PI、PN等材料。  


擁有多臺高精密檢測設備——如:三坐標測量?jì)x、光譜分析儀、投影儀、粗糙度儀、顯微鏡、厚度儀等多種檢測設備。


擁有兩百臺以上各類(lèi)高精度高性能加工機床——如:數控加工中心,數控車(chē)床,平面研削機,水切割機,激光切割機,多線(xiàn)切割機,鋸切割機,套筒切割機,圓筒機,無(wú)心研削機、旋盤(pán)機等高精度標準機床;同時(shí)自主開(kāi)發(fā)的的有自動(dòng)洗凈線(xiàn)多條,自動(dòng)精燒機若干種。